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Responsible: Johan Stjernholm Location: Room Q158 - Level 1 (EVA ) License and Booking Required: Yes |
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Tool Summary
Tool Responsible: David Fitzgerald
Location: EVA Lab
Maximum wafer size: 6" (150 mm)
Materials available: Au, Ti, Ni, Al, Cr, Pd, Cu
FAQ - AJA Sputter - Orion 5
User ManualsProcessStaff Documents |
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Safety InformationView on LIMSFAQUser Discussion Forum |